近日，北京航空航天大學(xué)集成電路科學(xué)與工程學(xué)院正式成立集成電路工藝與裝備系。工藝與裝備系的成立，是北航高水平建設(shè)“集成電路科學(xué)與工程”一級學(xué)科的關(guān)鍵一步，將大大加快北航在集成電路制造領(lǐng)域服務(wù)國家戰(zhàn)略需求、助力產(chǎn)業(yè)技術(shù)突破及培養(yǎng)輸送緊缺高層次人才的建設(shè)步伐。

　　2015年，包括北航在內(nèi)的17家高校獲批籌建示范性微電子學(xué)院，加快集成電路全鏈條學(xué)科建設(shè)和人才培養(yǎng)。

2018年，北航微電子學(xué)院獨立運行，開展集成電路材料與器件、工藝與裝備、設(shè)計與工具等全層面學(xué)科體系建設(shè)，形成較完整的人才培養(yǎng)方案；與此同時，集成電路科學(xué)與工程學(xué)院負責(zé)籌建北航校級微納公共創(chuàng)新中心，該中心為集成電路工藝開發(fā)及國產(chǎn)裝備研發(fā)驗證提供一流的公共實驗平臺和產(chǎn)教研融合基地。

2020年，國務(wù)院正式批準設(shè)立“集成電路科學(xué)與工程”一級學(xué)科，以此為契機，北航微電子學(xué)院正式更名為北航集成電路科學(xué)與工程學(xué)院，并在之前基礎(chǔ)上籌建“集成電路工藝與裝備系”。

　　北航集成電路學(xué)院擁有工信部重點實驗室，與業(yè)內(nèi)多個領(lǐng)軍企業(yè)共建聯(lián)合實驗室，并與海外知名高校開展雙博士/碩士培養(yǎng)；牽頭建設(shè)了支撐微納全工藝流程及設(shè)備研發(fā)的校級智能微納公共創(chuàng)新中心，在微納先導(dǎo)工藝研發(fā)、國產(chǎn)裝備技術(shù)攻關(guān)、特種芯片開發(fā)驗證等方向上匯聚了一支活躍在國際學(xué)術(shù)前沿和核心技術(shù)前沿的創(chuàng)新團隊；近年來承擔(dān)多項工藝研發(fā)及儀器研制項目。學(xué)院已經(jīng)具備了成立集成工藝與裝備系的各項環(huán)境條件，可支撐集成電路科學(xué)與工程學(xué)科的全面發(fā)展。

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